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LPCVD設備


    青島福潤德微電子設備有限公司專注于鏈式爐排,全自動擴散爐,小型真空爐,加熱爐體,石棉圈,小型馬弗爐等

  • 詞條

    詞條說明

  • 立式真空爐

    空爐(vacuum furnace)是真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2~10-4)h。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應加熱。較高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構造 3原理 4功能 5

  • (單管程序氧化爐)

    ?單管氧化爐技術方案 ? ????????????? (單管程序氧化爐) ? ?????????????&n

  • 石英領

    ?石英軟領為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間在高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區溫度穩定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧化,防震,防腐蝕。

  • led專用爐

    ■ LED**爐特點?? ◆ 關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報警、**溫報警、極限**溫報警等多種安全保護功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達可

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