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潔凈車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 青海凈化車間的構成是由下列各項系統所組成: (
無塵車間等級 常規的有10級、100級、1000級、10000級、100000級、300000級。 1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。 10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。100級:很多人認為,這一級無塵車間是較常用因而是較重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,
懸浮分子污染(AMC) 4.1AMC的分類及控制要求情況 AMC作為IC工廠所關心的問題于20年前較先由日本人提出,近年來,IC生產園片直徑已達φ300mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于0.15μm,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率的問題,已被清楚的認識到,因此,AMC的控制已由談論轉到需要實施。 對于IC生產,AMC分為A、B、C、D四類,即: A——酸性物質
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