靶材種類
- 時間：2017-04-11作者：北京匯方圓科技有限公司瀏覽：133
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詞條
詞條說明
1.常規金屬氧化物靶材：氧化鎂靶材MgO，氧化錳靶材MnO，氧化鐵靶材FeO，氧化鈷靶材CoO，氧化鎳靶材NiO，氧化銅靶材CuO，氧化鋅靶材ZnO，氧化鉛靶材PdO，氧化錫靶材SnO，氧化鋁靶材Al2O3. 2.稀有金屬氧化物靶材：氧化銦靶材InO2，氧化鍺靶材GeO2，氧化鎵靶材Ga2O3，氧化銻靶材Sb2O3，氧化鉍靶材Bi2O3，氧化鎘靶材CdO，氧化鈦靶材TiO，氧化鋯靶材ZrO2，氧化
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