光學(xué)微電子行業(yè)無塵車間空氣參數(shù)要求

時間：2018-09-20作者：山東星月凈化工程有限公司瀏覽：118

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• 詞條

  詞條說明

• 無塵車間施工監(jiān)理注意事項

  無塵車間是復(fù)雜的系統(tǒng)工程，應(yīng)用的功能要求有差別。監(jiān)理工程師對施工圖的審查，目的是熟悉圖紙，了解設(shè)計意圖，未設(shè)計交底、組織施工圖會審、審查施工組織設(shè)計做準(zhǔn)備。首先要搞明白項目設(shè)計要求的用途和功能，對設(shè)計總說明要深刻領(lǐng)會，分系統(tǒng)審查各空調(diào)機組控制的區(qū)域，風(fēng)管系統(tǒng)及各種管線布局并做好記錄，必要時進行復(fù)合計算，根據(jù)經(jīng)驗判斷和提出審查意見。一般易出現(xiàn)的情況如下： 1.工藝設(shè)備與進回風(fēng)口位置矛盾，設(shè)備阻擋進

• 紫外線殺菌燈的應(yīng)用與效果

  輻射能量用輻射輸出、輻射強度和輻射量表示。輻射輸出為單位時間由輻射體輻射的能量，相當(dāng)于熒光燈管的光通量；輻射強度為單位面積的輻射輸出；輻射量為輻射強度與輻射時間的乘積。 輻射輸出能力隨著其使用環(huán)境的溫度、濕度、風(fēng)速等因素的不同而有所變化。環(huán)境溫度低時輸出能力也低。濕度增加其殺菌效果也會有所降代，紫外燈通常按相對濕度60%為基準(zhǔn)進行設(shè)計。當(dāng)室內(nèi)濕度增加時，由于殺菌效果降低，其照射量也應(yīng)相應(yīng)增加，例

• 潔凈空間的溫濕度根據(jù)工藝要求來確定

  潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1

• 一種裝配室潔凈室的簡要測試方法

  TS型裝置式潔凈室是一種利用空氣單向氣流（水平平行流）進行層流過濾，并經(jīng)多級凈化，再由送風(fēng)單元將凈化后空氣送至工作區(qū)，如此反復(fù)循環(huán)工作的高潔凈度潔凈室。TS潔凈室還配備TSFL型風(fēng)淋室一臺，風(fēng)淋室安裝在潔凈室的入口處，操作人員進入潔凈室工作必須先經(jīng)過風(fēng)淋室風(fēng)淋。風(fēng)淋時將污染的空氣通過中、空氣過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣經(jīng)噴口以高速旋轉(zhuǎn)切線方向吹向人體各部位，將附著在工作服上的灰塵吹掉。 該潔凈室