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時間：2019-12-18

作者：醴陵市利吉升新材料有限公司

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詞條
詞條說明
什么是靶材？
簡易說的話，靶材便是快速荷能粒子負電子的總體目標原材料。有金屬材料類、鋁合金類、金屬氧化物類這些。例如:蒸發射頻濺射鍍膜是加溫蒸發鍍膜...鋁模等。拆換不一樣的靶材(如鋁、銅、不銹鋼板、鈦、鎳靶等)，就可以獲得不一樣的膜系(如超硬、耐磨損、防腐蝕的鋁合金膜等)。?
常見的金屬靶材有哪些？濺射靶材是否希缺資源？
我們都掌握靶材便是快速荷能顆粒負電子的總體目標原材料。磁控濺射靶材關鍵運用于電子器件及信息技術產業，如電子器件、信息內容儲存、液晶顯示器、激光器儲存器、電子器件操縱元器件等;也可以運用于玻璃鍍膜行業;還能夠運用于金屬復合材料、高溫耐腐蝕、高端裝飾用品等領域。靶材類型比較多,有金屬類、鋁合金類、金屬氧化物類這些,用的領域也各有不同,運用很普遍。那麼普遍的金屬靶材有什么?磁控濺射靶材是不是希缺資源?
淺談半導體靶材
靶材，特別是高純度濺射靶材應用于電子元器件制造的物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)工藝，是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術，也是PVD的一種。它通過在PVD設備中用離子對目標物進行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱
靶材的制作方法、分類及應用
現階段靶材的制取關鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法：將一定成份配制的合金原材料熔煉，再將合金飽和溶液澆筑于模貝中，產生澆鑄，最終經機械加工制造做成靶材，鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見的熔煉方式有真空泵磁感應熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負電子熔煉等，其特點是靶材殘渣含量（尤其是汽體殘渣含量）低，相對密度高，可進口替代；缺陷是對溶點和相對密度相距過大的二種或兩種以上金屬材料，一般熔煉法難以獲得成份