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母機,因其部件的加工裝調精度難,運行**要求高,被譽為“精密機械”,本項目研制的光柵刻劃機,幾乎所有關鍵部件都沖擊限水平研制期間,科研人員突破了精密機械加工、精密光學加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關鍵技術,并研制出面積達400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵,這也是目前上面的中階梯光柵此前,只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵,我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米,精度也
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