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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵正確使用及保養(yǎng)方法1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時,油位到油標中心為準。?2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應及時換新油,確保真空泵工作正常。?3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當延長換油期
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應水平安裝,其周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
真空泵維護與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應經(jīng)常保持清潔,防止雜物進入泵內(nèi)。?2.泵的運轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進入泵內(nèi)而影響極限真空時
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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