【單級旋片真空泵】滑閥泵排氣過濾器的安裝過程

時間：2021-09-02作者：上海福豫機械設(shè)備有限公司瀏覽：82

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  詞條說明

• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【單級真空泵廠家】真空泵的維護與保養(yǎng)

  真空泵維護與保養(yǎng)：1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔，防止雜物進入泵內(nèi)。?2.泵的運轉(zhuǎn)過程中，油箱內(nèi)的存油量不得**油標(biāo)中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用。?4.泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特殊事故，進氣口突然暴露大氣時，應(yīng)盡快停泵，并切斷與系統(tǒng)連接的管道，防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng)，水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進入泵內(nèi)而影響極限真空時

• 【真空泵廠家】單級旋片式真空泵的適用范圍

  單級旋片式真空泵-適用范圍旋片式真空泵使用說明：一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解，請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前，請您仔細(xì)詳閱使用說明，嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?，并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3，后從進氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能

• 【工業(yè)真空泵】使用真空泵的注意事項

  使用真空泵的注意事項1.?正常運傳前，真空泵應(yīng)先做一次試運轉(zhuǎn)，檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的極限壓強，應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范。真空泵在*工作的條件下，真空泵溫不應(yīng)**過70度。至于抽速的測定.由于比較復(fù)雜，一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機械真空泵.在開機前應(yīng)先通冷卻水，然后再啟動。冷卻水的出口水溫不宜**過30度。3.?*安裝真空泵時，應(yīng)檢