詞條
詞條說(shuō)明
【真空泵真空系統(tǒng)介紹】真空系統(tǒng)的基本要求
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的真空和工作真空度。真空度是指器件在無(wú)漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣,如果工作真空度差,
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的壓力102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散泵
旋片真空泵的使用方法1、使用前,應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說(shuō)明書,開箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝,接線,試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油,應(yīng)先開啟泵口,按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中,同時(shí)查看油位,應(yīng)在油標(biāo)中心以上,但不要滿油標(biāo),多了要放3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法,把護(hù)套倒放在家口上,如開系后被吸住,是正向,被攻落,是發(fā)向,聲音正常是正向,聲音異
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)如下
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)?1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號(hào)普通機(jī)械油)到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空
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