詞條
詞條說(shuō)明
XD型單級(jí)旋片式真空泵的優(yōu)點(diǎn)1、**強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無(wú)油煙,清潔、環(huán)保、省油。3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。7、低噪音,低振動(dòng)。8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級(jí)泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn),并且同時(shí)保留了羅茨泵能*的工作,優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺(tái)機(jī)械式真空泵,因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
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