【真空泵的維護】普旭真空泵的使用說明

時間：2021-11-22

作者：上海福豫機械設備有限公司

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【真空泵廠家】羅茨泵的工作原理
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【真空泵維修】移動式負壓真空站的作用及結構原理
移動式負壓真空站結構原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術中較基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓
【工業真空泵】單級旋片式真空泵的使用范圍
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍：100Pa~100000Pa，**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產生真空，需換葉片。
【上海單級旋片真空泵】真空泵的壓強范圍
壓強范圍真空泵種類?工作壓強范圍（Pa）?起動壓強（Pa）活塞式真空泵?1×105～1.3×102?1×105旋片式真空泵?1×105—6.7×10-1?1×105水環式真空泵?1×105—2.7×103?1×105羅茨真空泵?1.3×103—1.3?1.3×103渦輪分子泵1.3—1.3×10-5