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詞條說明
ERT光譜共焦測量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測量和3D形貌測量等測量任務 廣泛應用于以下微觀精密測量領(lǐng)域: ??玻璃(浮法玻璃在線厚度檢測,3D測量) ??微電子(粗糙度,3D測量,缺陷檢測) ??機械(粗糙度,摩擦磨損,3D測量,腐蝕分析) ??光學鏡片(粗糙度,3D測量) ? 光譜共焦測量技術(shù)實現(xiàn)在線檢測測量
ERT光譜共焦傳感器測頭及光纖 1.2?測頭和光纜 測頭是可以更換的:同一個控制器多可存儲20個對應于不同的測頭的校準表數(shù)據(jù),即可配備20個不同的測頭。 測頭是完全無源的,因為它沒有包含熱源和移動部件,所以要避免可能影響傳感器測量過程精度的任何熱膨脹。 將測頭連接在控制器上的光纜長可以定做到10m,當整理光纖線時避免將其彎曲成曲率半徑小于20mm的圓弧。 注意事項: 當整理光纖線時避免
1、光譜共焦傳感器外部掃描 CCS-100傳感器有一個重要的特性,實際上它是一個點傳感器,換句話說,在給定時刻傳感器測量的是一個位于其光軸上的單點。為了得到一個曲線,或者測量整個表面,必須用一些外部掃描設(shè)備做輔助,沿著一個軸或者兩個軸掃面樣品。一般情況掃描設(shè)備是機動的;在一些情況下它還包含編碼器來確定任意時刻樣品的精確位置。 在一些應用中傳感器和外部掃描設(shè)備的同步性是一個重要的問題。CCS-10
? ? ? ?光譜共焦測量技術(shù)的優(yōu)點 ? ? ? ?使用光譜共焦測量技術(shù),可以得到**高分辨率。納米級分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長光譜范圍。 ? ? ? ?由于采用檢測焦點的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑,從而允許測量非常小的被測物體。這也意味
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