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高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的
純化方法純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求純度為99.99%以上。在航天技術中,加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置
氦氣由于其密度小,安全是現在代替充氣球用氫氣的完美替代品,又由于其不可再生性和稀缺性,價格相比氫氣要高出許多。、氦氣可作為火箭液體燃料的壓送劑和增壓劑,大量用于導彈、宇宙飛船和超音速飛機上。?[1]?2、氦用作冶煉及焊接時的保護氣體,這在造船以及飛機、宇宙飛船、火箭和武器的制造等方面非常重要。?[1]?3、氦氣有優良的滲透性,?[3]?&
均勻性是考察標準氣體性能的一個重要指標。標準氣體的特性應該是均勻的即在規定的范圍內其量值保證不變。不論采用哪種方法制備的標準氣體,都需要進行混勻處理。標準氣體的混勻方法有:熱處理法、鋼瓶滾動法、特殊充填法、自然擴散法、其他混勻方法等,幾種混勻操作方法如下:1、熱處理法:一般將制備好的標準氣體的容器置于40℃以下的溫水浴中加熱,使氣體組分較快的混合均勻。2、鋼瓶旋轉滾動法:將鋼瓶水平放在混勻半置的滾
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