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詞條說明
使用真空泵的注意事項1.?正常運傳前,真空泵應先做一次試運轉,檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的極限壓強,應符合技術規范。真空泵在*工作的條件下,真空泵溫不應**過70度。至于抽速的測定.由于比較復雜,一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機械真空泵.在開機前應先通冷卻水,然后再啟動。冷卻水的出口水溫不宜**過30度。3.?*安裝真空泵時,應檢
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應水平安裝,其周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養。裝拆方便。???&n
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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