KRi 離子源 e-beam 電子束蒸發系統輔助鍍膜應用

時間：2024-01-12

作者：伯東企業（上海）有限公司

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燃料電池儲氫系統氦質譜檢漏法
上海伯東燃料電池儲氫系統氦質譜檢漏法氫是一種易于儲存, 運輸和使用的能源載體.?在多種工業領域的脫碳,?以及在行駛距離長,?加油所需時間短的零排放出行中,?氫技術都發揮重要作用.?氫能作為一種清潔能源在燃料電池中的化學反應只產生水,?電和熱.?已被廣泛應用于燃料電池電動汽車?FCEV?車載儲氫系統,
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上海伯東KRI離子源在半導體材料中的預清洗及刻蝕應用
半導體材料（semiconductor material）是一類具有半導體性能（導電能力介于導體與絕緣體之間，電阻率約在1mΩ·cm～1GΩ·cm范圍內）、可用來制作半導體器件和集成電路的電子材料。二氧化硅是制造玻璃、石英玻璃、水玻璃、光導纖維、電子工業的重要部件、光學儀器、工藝品和耐火材料的原料，是科學研究的重要材料。?本文主要介紹上海伯東KRI離子源在半導體材料SiO2中的預清洗及刻